半导体领域主机与设备通讯的协议SECS/GEM

SECS/GEM(Semiconductor Equipment Communication Standard/Generic Equipment Model)是半导体设备和主机进行通信的协议。更确切地说,SECS/GEM是一组协议的统称。下图为SECS/GEM协议的组成,包括SECS-1,HSMS,SECS-II和GEM协议。

SECS-I规定了设备和主机传输时的电气规格、传输速度、消息头等信息。实施上,以RS232为串口的通信标准,采用半双工的通信方式,速度上多采用9600bps,少数使用19200bps。
HSMS(High-Speed SECS Message Services)采用TCP/IP协议传输信息,主要目的是替换掉速度慢的SECS-I。
SECS-II规定了传输数据的标准结构。
GEM(Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment)可以理解成是SECS-II协议的一个子集。只需要实现SECS-II里面最常用的功能。

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